MicroChemicals GmbH

Fotoresiste, Hilfsstoffe, Säuren/Basen, Lösungsmittel
und technische Unterstützung
im Bereich Mikrostrukturierung und Lithografie

 

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Ätzmischungen
Lösungsmittel
 

Ätzmischungen

Aluminiumätzlösung
Unsere Aluminiumätze ANPE 80/5/5/10 hat folgende Zusammensetzung:
H3PO4 : HNO3 : CH3COOH : H2O = 73 %: 3.1 %
: 3.3 % : 20.6 %
Wir bieten diese Al-Ätze 2.5 L Gebinde in MOS Qualität, auf Anfrage auch in anderen Gebindegrößen und Reinheitsgraden an.
 
Mehr Informationen dazu: Aluminiumätzlösung .pdf
Allgemeine Informationen dazu: Ätzen von Aluminium .pdf

 

Chromium-Ätzlösung N°1 ((NH4)2[Ce(NO3)6]/HClO4)
Verfügbar in 2,5 L Gebinden in VLSI Qualität. Andere Gebindegrößen und Qualitäten auf Anfrage.

Mehr Informationen dazu: Chrom-Ätzlösung.pdf
Allgemeine Informationen dazu: Ätzen von Chrom .pdf

 

Goldätzlösung (HNO3/HF)

Verfügbar in 2,5 L Gebinden in VLSI Qualität. Wir bieten Goldätzen in mengenmäßig unterschiedlichen Zusammensetzungen bzgl. der genannten Inhaltsstoffe an. Andere Gebindegrößen und Qualitäten auf Anfrage.
Bitte teilen Sie uns Ihre bevorzugte Rezeptur mit.
  
Mehr Informationen dazu: Goldätzlösung.pdf 
Allgemeine Informationen dazu: Ätzen von Gold .pdf

 

SiliziumätzlösungAFN 5-4-9 (HF/HNO3/CH3COOH)

Verfügbar in 2,5 L Gebinden in VLSI Qualität. Andere Gebindegrößen und Qualitäten auf Anfrage.

Mehr Informationen dazu: Siliziumätzlösung.pdf
Allgemeine Informationen dazu: Nasschemisches Ätzen von Silizium .pdf

 

Gepufferte Flusssäure (BOE 7:1 oder Ammoniumfluorid-Ätzmischung 87.5/12.5)

Wird benutzt zum Ätzen von SiO2 (Quarz). Durch seine im Vergleich zur
ungepufferten Flusssäure höheren PH-Wert ist die gepufferte Flusssäure milder zu Fotolacken.
Die Ätzrate liegt ja nach Temperatur und des zu ätzenden SiO2 bei ca. 70-90 nm / min.

Mehr Informationen dazu (wir haben die 7:1 im Programm):
Buffered Oxide Etchant.pdf
Allgemeine Informationen dazu: Nasschemisches Ätzen.pdf

 

 

Gebindegrößen, Versand und Preise
Wir liefern unsere Ätzlösungen normalerweise in Gebinden mit 2,5 Liter Inhalt. Neben Einzelgebinden ist die übliche Versandeinheit 6 x 2,5 Liter.
Unsere typischen Lieferzeiten für lagernde Ware ist 3-5 Arbeitstage innerhalb Deutschlands. In besonders dringenden Fällen können wir auch unter Umständen innerhalb von 24 Stunden liefern.
Lieferzeiten ins europäische Ausland auf Anfrage.

Bitte senden Sie Ihre Anfrage an:
E-mail: sales@microchemicals.com
Telefon: +49 (0)731 36080 409
Fax: +49 (0)731 36080 908

Vielen Dank für Ihr Interesse an unseren Produkten!

Übersicht Ätzmischungen
 

Aluminiumätzlösung 

Chromätzlösung 

Goldätzlösung 

Siliziumätzlösung

Gepufferte Flusssäure

Technische Datenblätter
Sicherheitsdatenblätter
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