MIF Entwickler (metal-ion-free)
AZ® 326MIF
AZ® 326 MIF Developer ist 2.38 % TMAH (Tetramethylammoniumhydroxid) in H2O.
Mehr Informationen dazu: AZ® MIF_Developer.pdf
AZ® 726MIF
AZ® 726 MIF Developer besteht aus einer 2.38 % TMAH-Lösung in H2O. Zusätzlich enthält dieser Entwickler Netzmitteln (Surfactants) für eine bessere und homogenere Benetzung.
Mehr Informationen dazu: AZ® MIF_DEVELOPER.pdf
AZ® 826MIF
AZ® 826 MIF besteht aus einer 2.38 % TMAH-Lösung in H2O. Neben Netzmitteln enthält dieser Entwickler zusätzlich sogenannte "scum-Remover". Dieses Additiv sorgt für eine rückstandsfreie Entwicklung schwerlöslicher Resistkomponenten. Allerdings erhöht dieses Additiv auch etwas die Dunkelabtragsrate.
Mehr Informationen dazu: AZ® MIF_Entwickler.pdf
®AZ, das AZ Logo, BARLi, Aquatar und Kallista sind eingetragene Markenzeichen der Firma AZ Electronic Materials.
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