AZ 4500 Series Fotoresiste
AZ 4500 - Serie Fotoresist
Dicklacke für mittlere Auflösung.
Schichtdicke: 2.5 ... 10 μm, bis 100 μm über Mehrfachbelackung
UV-Empfindlichkeit: i-, h-, g-line (310 - 440 nm), breitband/monochromatisch
Gebindegrößen: 250 ml, 500 ml, 1.000 ml, 2500 ml und 5 Liter
Generelle Informationen
AZ® 4533 und AZ® 4562 besitzen – verglichen mit Dünnlacken – eine geringere Fotoinitiator-Konzentration. Damit ist die Durchbelichtung auch dicker Lackschichten über 10 μm möglich. Falls aufgrund einer hohen Belichtungsintensität oder rauer Substrate trotz optimierter Prozessfolge Blasenbildung beim Belichten auftritt oder ein größeres Aspektverhältnis benötigt wird, empfiehlt sich als Alternative der Dicklack AZ® 9260.
Der dazu passende Entwickler
AZ® 400K 1:4 oder AZ® 826MIF wird (mit anderen Entwicklern sind Lackrückstände
möglich)
Mehr Informationen dazu: Fotoresist AZ 4500-series.pdf
®AZ, das AZ Logo, BARLi , Aquatar und Kallista sind eingetragene Markenzeichen der Firma AZ Electronic Materials.
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