Fotolacke, Hilfsstoffe, Säuren/Basen, Lösungsmittel
und technische Unterstützung
im Bereich Mikrostrukturierung und Lithografie

 

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Fotolacke
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AZ 520D - Schutzlack

 

AZ 520D Schutzlack
nicht photosensitiver Schutzlack

Schichtdicke: 1.5 ... 3.0 µm
UV-Empfindlichkeit: Keine
Gebindegrößen: 250 ml, 500 ml, 1.000 ml, 2500 ml und 5 Liter

Generelle Informationen:
AZ® PC 520 D ist eine kostengünstige Beschichtung für den Schutz von Oberflächen bei Prozessen wie Rückseitenläppen oder Rückseitenätzen. Sie basiert auf dem Novolak-Harz welches auch die Hauptkomponente unserer Fotolacke ist. Der Lack ist blau eingefärbt damit die Beschichtung einfach inspiziert werden kann. Er ist gegenüber vielen sauren und leicht alkalischen Ätzbädern stabil und kann in einer Dicke von ca. 2 µm aufgebracht werden.

Bitte beachten Sie, dass dieser Resist in KOH oder NaOH basierten Ätzen wie sie für das Siliciumätzen verwendet werden nicht stabil ist.

Im Datenblatt wird auch ein Produkt namens AZ 546D erwähnt. AZ 546D wird seit 2005 nicht mehr produziert und ist deshalb leider nicht mehr verfügbar.

Entfernt werden kann dieses Produkt mit den gleichen Strippern wie sie auch für unsere Fotolacke verwendet werden.

Mehr Informationen dazu: AZ 520_D PC.pdf

 

 

 

 

 


®AZ, das AZ Logo, BARLi , Aquatar und Kallista sind eingetragene Markenzeichen der Firma AZ Electronic Materials.

Übersicht Fotolacke
Einheiten und Größen  

Positiv, dünn  
AZ® 111 XFS 
AZ® 1505 
AZ® 1512HS 
AZ® 1514H 
AZ® 1518 
AZ® 6612 
AZ® 6624 
AZ® 6632
AZ® MiR 701
AZ® ECI 3027

Positiv, dick 
AZ® 4533
AZ® 4562 
AZ® 9260
AZ® 40 XT  

 

Negative Resiste 
AZ® nLof 2070
AZ® 15 nXT 
AZ® 125 nXT
 

Image Reversal/Lift-off
AZ® 5214E 
TI 35E 
TI 35ES 
TI xLift  
AZ®nLof 2070
 

Tief-UV Fotolacke
AZ® TX 1311
 

Andere Fotolacke
AZ® 520D 
AZ®4999 
TI Spray 
PL 177 
AZ® Aquatar
AZ® Barli II
 

Andere Resisttypen  
Lacke für Galvanik
Lacke für e-Beam 
Schutzlack
Sprühlacke
Leiterplattenlack
Antireflexionsbeschichtung

Technische Datenblätter
Sicherheitsdatenblätter
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