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AZ 6600 Serie Fotoresiste

AZ 6600 Series
Thermisch stabile Dünnlacke

Schichtdicke: 1.0 ... 4.5 μm
UV-Empfindlichkeit: i-, h-, g-line (310 - 440 nm), breitband/monochromatisch
Gebindegrößen: 250 ml, 500 ml, 1.000 ml, 2500 ml und 5 Liter

Generelle Informationen
Die Fotolacke der AZ® 6600-er Familie weisen aufgrund ihrer Harzstruktur eine für Trockenätzen, Metallisieren (Aufdampfen, Sputtern) oder – falls notwendig – für einen
Hardbake eine auf ca. 130°C erhöhte thermische Stabilität gegen Verfließen auf. Die erzielbare laterale Auflösung beträgt je nach Schichtdicke bis unter 1 μm.
AZ® 6612 und AZ® 6632 decken mit angepassten Schleuderprofilen den Schichtdickenbereich von ca. 1.0 bis 4.5 μm ab. Soll dieser Bereich mit nur einem Lack erzielt werden, ist dies über eine entsprechende Verdünnung des AZ® 6632 möglich (PGMEA = AZ® EBR Solvent):
AZ® 6624 (nominell 2.4 μm bei 4000 U/min): 100 g AZ® 6632 + 5,74 g PGMEA
AZ® 6618 (nominell 1.8 μm bei 4000 U/min): 100 g AZ® 6632 + 14,7 g PGMEA
AZ® 6615 (nominell 1.5 μm bei 4000 U/min): 100 g AZ® 6632 + 20,0 g PGMEA
AZ® 6612 (nominell 1.2 μm bei 4000 U/min): 100 g AZ® 6632 + 29,6 g PGMEA
Bei noch stärkerer Verdünnung neigen die stark fotoinitiatorhaltigen Lacke der 6600 Serie zu Partikelbildung (Abschnitt 28.1).

Der dazu passende Entwickler
AZ® 351B 1:4 oder AZ® 726MIF optimal / AZ® 400K 1:4, AZ® 326MIF möglich
  
Mehr Informationen dazu: Photoresist AZ 6600 - Serie.pdf

^{®AZ, das AZ Logo, BARLi , Aquatar und Kallista sind eingetragene Markenzeichen der Firma AZ Electronic Materials.}