AZ 9260 Fotoresist
AZ 9260 Fotoresist
Ein Dicklack für hohe Auflösung.
Schichtdicke: 3 ... 20 μm, bis 100 μm über Mehrfachbelackung möglich
UV-Empfindlichkeit: i- und h-line (310 - 410 nm), breitband/monochromatisch
Gebindegrößen: 250 ml, 500 ml, 1.000 ml und 3.78 L (Gallonen)
Generelle Informationen
Die Lacke der AZ® 9200 Serie besitzen verglichen mit den AZ® 4500 Dicklacken eine noch geringere optische Absorption. Damit ist die Durchbelichtung auch sehr dicker Lackschichten möglich. Dadurch und durch die fehlende Absorption bei h-line benötigt die AZ® 9200 Serie eine höhere Belichtungsdosis und weist eine geringere Entwicklungsrate unter sonst gleichen Bedingungen auf.
Falls geringere Schichtdicken erfordert werden, empfiehlt sich eine Verdünnung mit PGMEA = AZ® EBR Solvent.
Die folgenden Angaben zur Lackschichtdicke
beziehen sich auf 4.000 U/ min):
4.0 μm: 100 g AZ® 9260 + 13 g PGMEA
3.0 μm: 100 g AZ® 9260 + 23 g PGMEA
2.0 μm: 100 g AZ® 9260 + 42 g PGMEA
1.5 μm: 100 g AZ® 9260 + 55 g PGMEA
1.0 μm: 100 g AZ® 9260 + 88 g PGMEA
Der dazu passende Entwickler
AZ® 400K 1:4 oder AZ® 726MIF empfohlen
(AZ® 351B oder AZ® 326MIF/ 826MIF sind möglich).
Bei sehr großen Lackschichtdicken von mehreren 10 μm kann der AZ® 400K als höher konzentrierte 1 : 3.5 ... 1 : 3.0 Verdünnung eingesetzt werden, um die Entwicklungsdauer kurz zu halten.
Mehr Informationen dazu: Photoresist
AZ 9260.pdf
®AZ, das AZ Logo, BARLi , Aquatar und Kallista sind eingetragene Markenzeichen der Firma AZ Electronic Materials.
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