AZ ECI 3027 Fotoresist
AZ® ECI 3027 Fotoresist
Positiver Dünnlack
Schichtdicke: 0.7 µm - 3 µm
UV-Empfindlichkeit: i, h, g-line (310 - 440 nm)
Gebindegrößen: 250 ml, 500 ml, 1.000 ml, 2500 ml und 5 Liter
Generelle Informationen
AZ ECI 3027 gehört zu der Familie der modernen, schnellen positiv Resisten mit mittlerer Schichtdicke und einem sehr hohen Auflösungspotential. Seine herausragende Haftung und gute thermische Beständigkeit qualifizieren ihn sowohl für das Trockenätzen wie auch für nasschemische Ätzprozesse. Es ist damit ein sehr universell einsetzbares Produkt mit einem sehr großen Prozessfenster.
Der dazu passende Entwickler
AZ 726 MIF, AZ 326 MIF ebenfalls geeignet ist der metallionenhaltige Entwickler AZ 351B.
Mehr Informationen dazu: Fotoresist AZ ECI 3027.pdf
®AZ, das AZ Logo, BARLi , Aquatar und Kallista sind eingetragene Markenzeichen der Firma AZ Electronic Materials.
|
