Tief-UV Fotolack
AZ TX 1311
AZ TX 1311
Schichtdicke: 2-4 μm
UV-Empfiunflichkeit: 248 nm
Gebindegrößen: 250ml, 500 ml, 1000 ml, 3.78 L (gallon)
Generelle Informationen
Der AZ® TX 1311 ist ein Tief-UV Fotolack. Der Fotolack für die Wellenlänge von 248 nm (DUV) hat eine vergleichsweise hohe Schichtdicke von bis zu 4 μm und eigent sich daher unter anderem für die Hoch-Energie-Ionen-Implantation.
Lithographie Ergebnisse: 0.40 μm Gräben bei einer Schichtdicke von 3.8 μm
Lithographie Ergebnisse: 0.40 μm Stege bei einer Schichtdicke von 3.8 μm
Mehr Informationen dazu: Tief-UV Fotolack AZ TX1311 .pdf
®AZ, das AZ Logo, BARLi , Aquatar und Kallista sind eingetragene Markenzeichen der Firma AZ Electronic Materials.
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