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Gebindegrößen

Neben den Originalgebinden (in der Regel 5 Liter) vertreiben wir die meisten Resiste auch in kleineren Verkaufseinheiten (250 ml, 500ml, 1000ml und 2500ml). Wir füllen die Resiste für Sie in unserem Reinraum der Klasse 10 in diese Kleingebinde um, damit wir den Bedarfsmengen von Universitäten und Forschungseinrichtungen gerecht werden.

Lagerbedingungen

Fotoresiste
Ein Artefakt der Lackalterung ist das Entstehen von Partikeln die sich aus dem Fotoinitiator (PAC) bilden. Diese Partikel können den Lithographieprozess stören. Hinzukommt noch, dass sich im Laufe der Lagerung die Fotospeed der Resiste ändert und so das Herstellen insbesondere von kleinen Strukturen erschwert. Um die Alterungserscheinungen minimal zu halten (vor allem wenn der Resist bis ans Ende seiner Haltbarkeit oder gar darüber hinaus verwendet werden soll) empfehlen wir Ihnen die Lagerung des Resists bei +5 bis +8°C. Ein so gelagerter Resist muss allerdings unbedingt vor dem Öffnen auf Raumtemperatur gebracht werden bevor die Flasche geöffnet wird um Kondenswasserbildung im Resist vorzubeugen.

Um Ihren Bedarf optimal an Ihre Bestellmenge anpassen zu können haben wir neben den Originalgebinden unsere umgefüllten Kleingebinde im Programm (250 ml, 500 ml und 1000 ml Flaschen). Wenn Sie selbst den Resist in kleinere Gebinde umfüllen wollen, empfehlen wir Ihnen einen zwei-Schritt Reinigungsprozess mit zunächst Aceton und dann Isopropanol. Lassen sie das Isopropanol restlos aus der Flasche verdampfen bevor Sie den Resist einfüllen.

Lagerung des Entwicklers

Entwickler
Die Alterung von wässrig alkalischen Entwicklern hängt mit der CO₂ Absorption aus der Luft zusammen die durch Neutralisation die Entwickleraktivität mindert. Deshalb empfehlen wir Ihnen die Lagerung in dicht verschlossenen Originalflaschen. Um die Alterung in Entwicklungsbädern in Grenzen zu halten, kann ein Vorhang aus Stickstoff helfen die CO₂ Aufnahme zu minimieren.

  
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