Remover / Stripper
AZ 100 Remover
Universeller Positivlack-Stripper
Kompatibel mit: Alle positiv und image reversal Resiste aus unserem Sortiment. Nicht kompatibel mit AZ nLof 2070.
Gebindegrößen: 1VE = 4 x 5 Liter (Einzelflaschen mit 5 Litern erhältlich)
Generelle Informationen
AZ® 100 Remover ist ein Universalstripper für Novolak-basierte Photoresistsysteme (gewöhnliche positiv Photoresiste) und basiert auf Lösungsmittel und einem Amin. AZ® 100
Remover hat unverdünnt angewandt einen geringen Abtrag an Aluminium. Durch die Verwendung von Ethanolamin ist das Gefährdungspotential gering. Der geringe Dampfdruck erlaubt die Verwendung bei hohen Temperaturen (bis zu 80°C) und er hat eine extrem hohe Effizienz (bis zu 3000 Wafer pro Liter) was kostendämpfend wirkt. Wenn kein Alumnium im Spiel ist, kann der Remover auch mit Wasser verdünnt angewandt werden.
Mehr Informationen dazu: AZ
100 Remover.pdf
TechniStrip® P1316 - Hochleistungs-Stripper
TechniStrip® P1316 ist ein Stripper mit sehr starker Lösekraft für
- Novolak-basierte Lacke (u. a. alle AZ® Positivlacke)
- Epoxy-basierte Lacke
- Polyimide, „bonding glues“
- Trockenfilme
Bei typischen Anwendungstemperaturen um 75°C löst TechniStrip® P1316 auch z. B. durch Trockenätzen oder Ionenimplantation stark quervernetzte Lacke in wenigen Minuten rückstandsfrei auf. TechniStrip® P1316 kann auch im Sprühverfahren eingesetzt werden.
Mehr Informationen dazu: TechniStrip® P1316.pdf
TechniStrip® NI555
TechniStrip® NI555 ist ein Stripper mit sehr starker Lösekraft für Novolak-basierte Negativlacke und sehr dicke Positivlacke wie
- AZ® nLOF 2000
- AZ® 15 nXT
- AZ® 40 XT
TechniStrip® NI555 wurde dafür entwickelt, auch quervernetzte Lacke nicht nur abzulösen, sondern rückstandsfrei aufzulösen. Dadurch werden Verunreinigungen des Beckens und Filter durch Lackpartikel und -häutchen verhindert, wie sie bei Standard-Strippern auftreten können.
Mehr Informationen dazu: TechniStrip® NI555.pdf
Ein quervernetzter AZ® 15 nXT Film löst sich in DMSO-, NMP- oder TMAH-basierten Standard-Strippern (linkes Becherglas) als Häutchen vom Substrat, während TechniStrip® NI555 die Lackschicht nach 20 Minuten komplett und rückstandsfrei aufgelöst hat. Abb. mit freundlicher Genehmigung von TECHNIC INC.
DMSO (Dimethylsulfoxid)
DMSO ist ein hervorragender Ersatz für das seit einiger Zeit als toxisch eingestufte NMP. Als Stripper und als Lift Off Medium hat DMSO hervorragende Eigenschaften und kann technisch gesehen als nicht toxische Alternative zum NMP angesehen werden. Mischungen mit Cyclopentanon oder mit MEK erhöhen noch die Leistung dieses Strippers.
Mehr Informationen dazu: DMSO Dimethylsulfoxid.pdf
NMP (1-methyl-2-pyrrolidone)
Kompatibel mit: Alle positiv und image reversal Resiste aus unserem Sortiment. Dieses Produkt ist auch für AZ nLof 2070 geeignet.
Gebindegrößen: 1VE = 6 x 2.5 Liter (Einzelflaschen mit 2.5 Litern erhältlich)
Generelle Informationen
NMP (1-Methyl-2-pyrrolidon) ist ein zum Entfernen von Fotolack-Schichten sehr gut geeignetes
Lösemittel. Seine Schwerentflammbarkeit und der sehr geringe Dampfdruck von NMP erlauben
ein Erhitzen auf 80°C, um auch hartnäckige Fotolack-Schichten entfernen zu können.
Mehr Informationen dazu: NMP.pdf
®AZ, das AZ Logo, BARLi , Aquatar und Kallista sind eingetragene Markenzeichen der Firma AZ Electronic Materials.
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