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TI Prime
TI Prime
Die Anwendung von TI PRIME (Titanhaltig, daher nicht für Prozesse geeignet bei welchen
Titan ein Problem darstellt) gestaltet sich einfacher als die von HMDS: TI PRIME
wird aufgeschleudert, wobei durch die hohe Verdünnung der aktiven Substanz weniger
als eine Monolage auf dem Substrat adsorbiert. In einem anschließenden Backschritt
wird der Haftvermittler aktiviert, worauf die Belackung folgt.
Mehr Informationen dazu: TI_Prime.pdf
Allgemeine Informationen dazu: (Schlechte) Lackhaftung .pdf , Substratreinigung und Haftvermittlung .pdf
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